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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-06-11

產(chǎn)品簡介：

堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國用戶提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。

產(chǎn)品特性Product characteristics

專業(yè)儀器設(shè)備與測(cè)試方案供應(yīng)商——上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅(jiān)友（上海）測(cè)量儀器有限公司JETYOO INSTRUMENTS，為原安捷倫Agilent【現(xiàn)是德KEYSIGHT】品牌技術(shù)經(jīng)理-堅(jiān)JET與吉時(shí)利KEITHLEY【現(xiàn)泰克Tektronix】品牌產(chǎn)品經(jīng)理-融YOO于2011年共同創(chuàng)辦，專注工業(yè)測(cè)試領(lǐng)域十六年，志在破舊立新！*進(jìn)口儀器設(shè)備大多數(shù)廠家僅在國內(nèi)設(shè)銷售點(diǎn)，但技術(shù)支持薄弱甚至沒有，而代理經(jīng)銷商也只做商務(wù)，不做售前技術(shù)支持/測(cè)試方案和售后使用培訓(xùn)/維修校準(zhǔn)的空白。我們的技術(shù)型銷售均為本科以上學(xué)歷，且均有10年以上測(cè)試行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，以我們*進(jìn)*的經(jīng)營理念，與客戶互惠互利合作雙贏，重在協(xié)助用戶采購與技術(shù)工程師的工作，提供較有競爭力的供應(yīng)鏈管理與售前售后技術(shù)支持。堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國用戶提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。

上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

2至6英寸樣品臺(tái)

高真空腔體

防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好

77K-675K高低溫環(huán)境

兼容IV/CV/RF測(cè)試

外置多探針臂，移動(dòng)行程大

經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無縫升級(jí)

極低溫測(cè)試

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。

腔體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探針臂接口：4~6個(gè)探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷機(jī)

溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K

溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

重量：約100千克/120千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：水平360度轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10微米/1微米

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

其他組件

真空組件

分子泵組/機(jī)械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)

可選附件

超高溫配件

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

分子泵組

激光系統(tǒng)

氣敏測(cè)試配件

上海蘇州杭州合肥南京高溫加熱探針臺(tái)系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

可滿足500度高溫測(cè)試

溫度穩(wěn)定性高

兼容IV/CV/RF測(cè)試

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單合理，操作方便

探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制

臺(tái)體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置8個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

溫度范圍：室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度

溫控精度：1度/0.1度/0.01度

穩(wěn)定性：±1度/±0.1度

外形尺寸：400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高/840mm長*600mm寬*700mm高

重量：約30千克/60千克/100千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

水冷裝置

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

激光系統(tǒng)

探針卡夾具

上海蘇州杭州合肥南京高低溫探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜

優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量

可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡

可搭配多種類型顯微鏡

結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升級(jí)

探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。

臺(tái)體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置8個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

溫度范圍：室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度

溫控精度：1度/0.1度/0.01度

穩(wěn)定性：±1度/±0.1度

外形尺寸：400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高/840mm長*600mm寬*700mm高

重量：約30千克/60千克/100千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺(tái)

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

激光系統(tǒng)

探針卡夾具